石墨舟的預(yù)熱
    1.烘干后的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備查看無(wú)損壞后，一起將石墨舟進(jìn)行預(yù)熱。
    2.預(yù)熱時(shí)石墨舟內(nèi)不放硅片，將需求預(yù)熱的舟放入閑暇的爐管，此爐管不進(jìn)行工藝，只需手動(dòng)把真空泵的閥門(mén)打開(kāi)就行了。
石墨舟的預(yù)處理（鍍舟）
    將空的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備承認(rèn)無(wú)反常之后，把石墨舟放進(jìn)爐管開(kāi)始進(jìn)行預(yù)處理（鍍舟），其他的步驟跟正常的出產(chǎn)工藝都一樣，但到“淀積”那一步時(shí)將工藝堅(jiān)持一個(gè)小時(shí)，然后再進(jìn)行下面的步驟，等到工藝完畢，石墨舟從爐管內(nèi)出來(lái)之后，經(jīng)工藝人員承認(rèn)之后，這個(gè)石墨舟就可以正常使用了。