石墨舟皿去垢前的查看作業(yè)：
    石墨舟在使用過程中接近100次時需求操作人員及時查看鍍膜情況，呈現(xiàn)鍍膜異常，需求進行清洗供認。
    硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜色彩為藍色，片內(nèi)呈現(xiàn)非藍色、多種色彩或片與片間色彩差異較大，都為鍍膜異常，需求工藝供認異常原因。
    由工藝人員對舟的鍍膜情況進行剖析后，供認石墨舟是否需求清洗以及卡點是否需求替換，出產(chǎn)將需清洗的舟交由設(shè)備人員清洗。
    石墨舟供認需求清洗后，由設(shè)備、出產(chǎn)、工藝三方對石墨舟進行查看。