半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具材料的選擇是什么
半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具資料的選擇
燒結(jié)用石墨模具由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下標(biāo)準(zhǔn)安穩(wěn)、耐熱沖擊功用好等特征,所以在半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛選用高純石墨制作各種燒結(jié)模具。
(1)電子器材燒結(jié)用石墨模具。石墨燒結(jié)模適用于各種類(lèi)型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結(jié),圖為部分燒結(jié)模具實(shí)例。選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時(shí),還選用石墨舟。
(2)各種絕緣子燒結(jié)模具。石墨模適用于各種類(lèi)型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié),電容器絕緣子燒結(jié),厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié),超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等。
半導(dǎo)體工業(yè)用石墨模具資料的選擇
半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)所用石墨資料要求其純度越高越好,特別是直接與半導(dǎo)體資料觸摸的石墨器材
如坩塌、燒結(jié)用石墨模具等,雜質(zhì)含量多會(huì)污染半導(dǎo)體資料,因此不光對(duì)所用石墨原資料的純度要嚴(yán)加控制,并且還要經(jīng)高溫石墨化處理,使其灰分降到最低程度。
半導(dǎo)體工業(yè)要求所用石墨資料顆粒度要細(xì),顆粒度細(xì)的石墨不光簡(jiǎn)略到達(dá)加工精度并且高溫強(qiáng)度高、損耗小,特別是燒結(jié)用石墨模具要求加工精度很高。由于半導(dǎo)體工業(yè)所用的石墨器材(包含加熱器和燒結(jié)模)都需求承受重復(fù)加熱和冷卻進(jìn)程,為了前進(jìn)石墨器材的運(yùn)用壽數(shù),要求所用石墨資料在高溫下具有杰出的標(biāo)準(zhǔn)安穩(wěn)性和耐熱沖擊功用。為了滿(mǎn)意上述各項(xiàng)要求,目前我國(guó)出產(chǎn)了一系列適用于半導(dǎo)體工業(yè)所運(yùn)用的石墨資料。