最新資訊
- 1 石墨坩堝的注意事項
- 2 石墨坩堝的使用溫度范圍
- 3 石墨坩堝制作及使用溫度介紹
- 4 石墨坩堝的制作方法
- 5 石墨坩堝的耐高溫性能非常出色
- 6 石墨坩堝的修復(fù)與再利用
- 7 石墨坩堝的存放與保養(yǎng)
- 8 石墨坩堝的操作規(guī)范
- 9 石墨坩堝的檢查與維護(hù)
- 10 如何避免石墨坩堝加熱時發(fā)生裂紋
- 11 石墨坩堝的使用建議
- 12 石墨坩堝的急速冷卻
石墨舟裝片房和石墨舟裝載房的主要特點是什么
發(fā)布作者:jcadmin 發(fā)布時間:2024年03月12日
石墨舟裝片房:用于太陽能職業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、制造中效及高效過濾器,確保吹出的空氣抵達(dá)凈化要求。
石墨舟作業(yè)原理:
空氣通過高效過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞴P直單向送入裝片作業(yè)區(qū),然后確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點:
1、能精確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、選用不銹鋼制造,整機(jī)結(jié)構(gòu)安定可靠;
3、選用GK系列高效空氣過濾器3只;
4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
6、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度100級。