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石墨舟裝片房和石墨舟裝載房的主要特點是什么

發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時間:2024年03月12日

石墨舟裝片房:用于太陽能職業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、制造中效及高效過濾器,確保吹出的空氣抵達(dá)凈化要求。
  石墨舟作業(yè)原理:
  空氣通過高效過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞴P直單向送入裝片作業(yè)區(qū),然后確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
  石墨舟主要特點:
  1、能精確的使石墨舟承載裝片車定位;
  2、選用不銹鋼制造,整機(jī)結(jié)構(gòu)安定可靠;
  3、選用GK系列高效空氣過濾器3只;
  4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
  5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
  6、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度100級。

石墨舟