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半導(dǎo)體石墨模具的制造工藝
發(fā)布作者:jcadmin 發(fā)布時(shí)間:2024年03月28日
半導(dǎo)體石墨模具的制造工藝
制造半導(dǎo)體石墨模具一般選用化學(xué)氣相堆積(CVD)法。此辦法是在高溫下,通過(guò)特定氣體在石墨基底上堆積出石墨層,然后進(jìn)行切割和研磨,終究得到所需的石墨模具。此外,熱解法制備石墨模具也是一種常見(jiàn)的辦法,它通過(guò)熱解有機(jī)前驅(qū)體,得到石墨資料,然后進(jìn)行后續(xù)的加工處理。