水銀整流器和電子管用石墨制品的性能
水銀整流器和電子管用石墨制品的功用
化合物半導(dǎo)體用的多晶硅生產(chǎn)。化合物廢氣半導(dǎo)體的材料由元素周期表上Ⅱ~Ⅵ族的元素構(gòu)成,代表性的元素有鎵(Ga)、砷(As)、磷(P)、銦(In)等?;衔锇雽?dǎo)體單晶與Si單晶有些差異,一般采用液封CZ拉伸法(EC: Liquid Encapsulated Czochralski)制造,可是也有用組成辦法生成多晶化合物并以此為材料的做法。例如,制造GaP時(shí),依照其化學(xué)當(dāng)量的比將Ga和P裝入石墨管,加蓋關(guān)閉,在加壓的一起,用中頻感應(yīng)加熱至大約1500℃,使之熔融,反應(yīng)生成GaP的組成多晶。這里所用的石墨要求具有高純度、高熱導(dǎo)性和高溫強(qiáng)度等特性。
因?yàn)槿斯なw積密度比鋁還輕,在常壓下不熔化蒸氣壓很小,有超卓的導(dǎo)電功用,導(dǎo)熱系數(shù)比鐵、錫、鎳、汞和鉑高,而線膨脹系數(shù)卻很低,大體與玻璃相同,具有超卓的耐熱沖擊功用和穩(wěn)定性以及高的電子逸出功并不與汞起反應(yīng)等特性,因此,它可作為水銀整流器陽(yáng)極、柵極和大型電子管用石墨制品的陽(yáng)極和柵極等。
水銀整流器和電子管用石墨制品要求灰分雜質(zhì)含量少,機(jī)械強(qiáng)度高?;曳蛛s質(zhì)在陽(yáng)極表面能放射電子,特別有害的是半導(dǎo)體的雜質(zhì),如硅、堿金屬和堿土金屬(包含鈉、鉀、鈣、鎂及其氧化物)。因?yàn)檫@些雜質(zhì)簡(jiǎn)略使整流器發(fā)生逆弧現(xiàn)象。有泵陽(yáng)極灰分要求小于0.035%,而無(wú)泵水銀整流器陽(yáng)極裝入機(jī)體后,除潰散檢修外,不能抽氣。如存有灰分雜質(zhì)影響更大,要求灰分小于0.01%。此外,還要求石具有必定的機(jī)械強(qiáng)度,表面加工均勻共同,氣孔率小、細(xì)密等。